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柔性阵列式声表面波微力传感器的研究

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  • 语言：中文版
  • 格式： PDF文档
  • 类别：化工设计
关键词：传感器   表面波   柔性   阵列   研究
资源简介
  • 柔性阵列式声表面波微力传感器的研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:传感器,表面波,柔性,阵列,研究
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