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软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究

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  • 大小:1.14 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:仪器仪表
关键词:共振   表征   界面   化合物   射线
资源简介
  • 软X射线共振反射方法表征Sc∕Si多层膜界面化合物成分的计算研究,资料为PDF文档格式.
  • 本文档关键词:共振,表征,界面,化合物,射线