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浙江省产品与工程标准化协会发布《数字化无掩模激光直写光刻机》T/ZS 0344-2022 团体标准

2022-11-11 16:49:36 来源：浙江省产品与工程标准化协会

　　现批准发布《数字化无掩模激光直写光刻机》为本会团体标准，标准编号为T/ZS 0344—2022。本标准于2022年11月10日发布，自2022年11月17日起实施，现予公告。

　　浙江省产品与工程标准化协会

　　二〇二二年十一月十日

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